PSA skābekļa rūpnīca pusvadītāju ražošanai
Tīrība: 98%-99.5%
Skābekļa ģeneratori pusvadītāju ražošanai – tehniskie indikatori
Skābekļa tīrība:Pusvadītāju ražošanai parasti ir nepieciešams īpaši augstas tīrības pakāpes skābeklis, kas parasti ir jāsasniedz 99,999% vai pat vairāk, lai nodrošinātu pusvadītāju izstrādājumu kvalitāti un veiktspēju.
Skābekļa plūsmas ātrums:Atbilstoši pusvadītāju ražošanas ražošanas apjomam un procesa prasībām, PSA skābekļa iekārtām ir jānodrošina stabils skābekļa plūsmas ātrums, lai ražošanas procesā apmierinātu nepārtrauktu skābekļa pieprasījumu.
Rasas punkta temperatūra:Mitruma saturam skābeklī ir jābūt ārkārtīgi zemam, un rasas punkta temperatūrai parasti ir jābūt zemākai par - 60 grādiem, lai novērstu mitruma negatīvu ietekmi uz pusvadītāju ražošanas procesu.
Daļiņu piemaisījumu saturs:Skābekļa daļiņu piemaisījumu saturs ir stingri jākontrolē, parasti tam ir jābūt mazākam par 0,1 mikronu, lai izvairītos no daļiņu piemaisījumiem, kas izraisa defektus pusvadītāju mikroshēmu virsmā.
PSA skābekļa ģenerators ar PSA skābekļa rūpnīcu
Oksidēšana ir pamata un kritisks solis daudzās pusvadītāju ražošanas procesu saitēs. Piemēram, silīcija vafeļu oksidēšanas procesā ir nepieciešams augstas tīrības pakāpes skābeklis, lai izveidotu silīcija dioksīda (SiO₂) slāni. Šo silīcija dioksīda slāni var izmantot kā izolācijas slāni vai kā masku turpmākajiem procesiem. Augstas tīrības pakāpes skābeklis, ko nodrošina PSA skābekļa iekārtas (parasti ar tīrību līdz 99,999% vai pat augstāku), var nodrošināt oksidācijas reakcijas precizitāti un stabilitāti, lai radītajam silīcija dioksīda slānim būtu vienmērīga kvalitāte un precīzs biezums, kas ir ļoti svarīga augstas veiktspējas pusvadītāju ierīču (piemēram, tranzistoru integrālajās shēmās) ražošanā.
NTK93 sērijas PSA skābekļa rūpnīcas modeļa izvēle |
||||||
Nē. |
Modeļi |
Jauda (Nm3/h) |
Tīrība |
1Nm3 saražotā skābekļa jaudas patēriņš (kw/h) |
12 stundu laikā uzpildīto pudeļu skaits (gab.) |
Nepieciešams operators |
| 1 | NTK-5P | 5 | 93%+-3% | 3.54 | 10 | 2 |
| 2 | NTK-10P | 10 | 93%+-3% | 2.52 | 20 | 2 |
| 3 | NTK-15P | 15 | 93%+-3% | 2.31 | 30 | 2 |
| 4 | NTK-20P | 20 | 93%+-3% | 2.13 | 40 | 2 |
| 5 | NTK-25P | 25 | 93%+-3% | 2.01 | 50 | 2 |
| 6 | NTK-30P | 30 | 93%+-3% | 2.09 | 60 | 2 |
| 7 | NTK-40P | 40 | 93%+-3% | 1.81 | 80 | 2 |
| 8 | NTK-50P | 50 | 93%+-3% | 1.94 | 100 | 2 |
| 9 | NTK-60P | 60 | 93%+-3% | 1.62 | 120 | 2 |
| 10 | NTK-80P | 80 | 93%+-3% | 1.92 | 160 | 2 |
| 11 | NTK-100P | 100 | 93%+-3% | 1.83 | 200 | 2 |
| Projektēšanas bāze: augstums: mazāks vai vienāds ar 500m;RH: mazāks vai vienāds ar 80%;Temperatūra:0 grāds -38 grāds;uzpildes spiediens: 150bar 40L tips standarta cilindrs | ||||||
Populāri tagi: psa skābekļa rūpnīca pusvadītāju ražošanai, Ķīna psa skābekļa rūpnīca pusvadītāju ražošanas ražotājiem, piegādātājiem
